電気電子工学科・福田研究室の卒研生が応用物理学会で研究成果を発表

卒研生の横平知也君が山梨大学・佐藤研究室、弘前大学・岡本研究室と
共同で研究を進めている原子層堆積法に関する研究成果を、
3月11日から14日にかけて東海大学・湘南キャンパスで開催された
第62回応用物理学会春季学術講演会において発表しました。

発表論文

Radical-Enhanced ALD法によるGe基板上Alジャーマネイトの形成機構に関する検討
横平知也, 梁池昂生, 柳炳學, 山本千綾,山中淳二,佐藤哲也, 岡本浩,福田幸夫

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