電気電子工学科・福田研究室の院生が国際会議で研究成果を発表

山田大地君(M1)が山梨大学・佐藤研究室、弘前大学・岡本研究室と共同で研究を進めている

原子層堆積法に関する研究成果を 7月8日から11日にかけて京都リサーチパークで開催された

”The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes”において発表しました。

発表タイトル

Role of low-energy ion irradiation in the formation of aluminum germanate layer on germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition

ISSP2015① ISSP2015②