福田研究室の論文が”MOST READ ARTICLE THIS MONTH”として紹介されました

電気電子工学科・福田研究室から米国真空学会の論文誌、Journal of Vacuum Science & Technology Aに投稿・掲載された下記論文が“月間で最も読まれた論文(MOST READ ARTICLE THIS MONTH)”として紹介されました。

本論文は平成26年度に実施した卒業研究の成果をまとめたもので、研究を担当した3名の学生が共著者として名を連ねてます。

Y. Fukuda, D. Yamada, T. Yokohira, K. Yanachi, C. Yamamoto, B. Yoo, J. Yamanaka, T. Sato, T. Takamatsu, and H. Okamoto, “Role of low-energy ion irradiation in the formation of an aluminum germanate layer on a germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition”, J. Vac. Sci. Technol. A 34(2), 02D101 (2016).

Journal of Vacuum Science & Technology Aに投稿・掲載された論文は   こちら

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